Reflex和E-Reflex 磁棒

使用梭莱的Reflex和E-Reflex磁棒,优化镀层均匀性并最大限度地提高靶材利用率。提供手动版(Reflex)或具备远程调节功能版(E-Reflex)。

HEA sputtering

为什么选择梭莱的磁棒?

  • 准确且可预测的镀层均匀性

    得益于精密的执行器,可对镀层进行局部精细调整,从而确保一次次地获得可靠且一致的结果。

  • 增强稳定性和耐久性

    Achieve a more stable process with higher power for longer periods, thanks to Soleras’ unique cooling systems. To ensure long-term durability, the actuators and magnets are housed in a dry zone, preventing any contact with water.  得益于梭莱独特的冷却系统,能够在更长时间内以更高功率实现更稳定的工艺。为确保长期耐用性,执行器和磁铁被安置在干燥区域,防止与水接触。

  • 为最佳性能而定制

    从磁场结构到调节点的位置和数量:您的梭莱 Reflex或E-Reflex磁棒可以完全定制,拥有多种磁场结构(每种结构都有其特定的优势和应用领域)。

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Soleras Coater 173

E-Reflex:实时微调

  • 实时均匀性控制

    得益于实时在线镀层均匀性控制,镀层均匀性得到提升,从而确保批次与批次之间结果的一致性 。

  • 更快的产品切换

    得益于E-Reflex的远程和实时调整功能,可以更高效、更有效地预见产品切换。

  • 专为自动化工艺控制而设计

    对于闭环控制而言,需要持续且即时的调整。我们的有线电源连接使稳健的自动化工艺控制成为可能,并消除了对电池的依赖。

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