磁控溅射设备

磁控溅射设备

目前大面积镀膜应用需要一系列的关键技术,包括重要构成部件的卓越性能,设备的可靠性,同时追求最低的运营成本。

我们给所有主要的镀膜线建造者提供领先的阴极单元、常规型和在线可调型磁棒,以及定制化溅射工艺组合。梭莱零部件的应用为产生高质量差异化产品提供了成熟解决方案。

我们的核心产品分类如下:

  • 旋转和平面磁控溅射技术
  • 常规型和在线可调型磁棒
  • 工艺腔室和零件
  • 自动化环路控制
  • 旋转和平面靶材

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