紧凑型端头

紧凑型端头

    • 广泛应用于空间受限的领域
    • 适用于新、旧镀膜线上低中功率的应用
    • 可定制用于大多数应用
    • 可用于腔体加热的镀膜线
    • 可与在线可调磁棒技术配套使用
    • 可水平,垂直或倾斜使用
    • 可用于直流,脉冲直流和中等功率水平的中频交流
    • 可与几种部件组合(例如磁棒,延长件,溅射电子,气体分布和控制系统)来获得精确工艺控制
    • 可灵活设置恰当的靶基距
    • 可完整拆卸,易于维护
    • 易于安装
    • 快速的靶材更换
    • 双重真空和水密封,避免意外停线
    • 可靠

 

 

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