可调磁棒(AMB V4)
- 易于手动调节
- 绝对的局部精确调整(0.1mm)
- 可调磁棒和在线可调磁棒之间可一对一转换定位,减少新镀膜线的试运转时间
- 增加靶材利用率(可达90%以上)
- 机械稳定结构
- 均匀的沉积曲线
- 在靶材寿命期内很高的可重复性
- 遍布整个长度方向的均匀水冷确保了可预测的磁场强度
- 可根据阴极定制
- 众多磁铁排列选择(标准,高强度,宽角度,针状和定制)
磁体结构
- 中央调节机构
- 基于长度最多可有24个调节点
- 每个点的调节范围是10mm
机械构造
- 可达152英寸长 (3860mm)
- 刚性、稳定的精密支撑结构
- 密封的磁铁腔体
- 优越的水流设计,导致更好的靶管冷却和均匀沉积
- 为水平和垂直应用的优化设计