可调磁棒

可调磁棒(AMB V4)

  • 易于手动调节
  • 绝对的局部精确调整(0.1mm)
  • 可调磁棒和在线可调磁棒之间可一对一转换定位,减少新镀膜线的试运转时间
  • 增加靶材利用率(可达90%以上)
  • 机械稳定结构
  • 均匀的沉积曲线
  • 在靶材寿命期内很高的可重复性
  • 遍布整个长度方向的均匀水冷确保了可预测的磁场强度
  • 可根据阴极定制
  • 众多磁铁排列选择(标准,高强度,宽角度,针状和定制)

磁体结构

  • 中央调节机构
  • 基于长度最多可有24个调节点
  • 每个点的调节范围是10mm

机械构造

  • 可达152英寸长 (3860mm)
  • 刚性、稳定的精密支撑结构
  • 密封的磁铁腔体
  • 优越的水流设计,导致更好的靶管冷却和均匀沉积
  • 为水平和垂直应用的优化设计

 

amb

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